精密(mì) XY 運動(dòng)平台(tái),滿(mǎn)足高速、高加速、高(gāo)精(jīng)度的產品(pǐn)定製需求,適用於LED封裝檢測、玻璃片檢測、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢(jiǎn)測、三維形貌等。
定製品,可根據客戶需求(qiú)定製。
無鐵芯直線電機驅動,光柵尺編碼反饋
最大速度 300mm/s , 最(zuì)大加(jiā)速度0.3g
亞微米級重複定位精度
進口(kǒu)高剛性(xìng)直線導軌,可保證長期穩(wěn)定的(de)精度。
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