X、Y、Z 工（gōng）作台，Z軸安裝於（yú）X軸上方

無鐵芯直線電機驅（qū）動，光柵尺編碼反饋

最大速度300mm/s, 最（zuì）大加速（sù）度0.5g

亞微米級重複定位精度

高強度高剛性的材料，設計精巧，使用氣缸來（lái）平衡重力

進口高剛性直線導軌，可保證長期（qī）穩定的精度，智（zhì）承自動化專業的技（jì）術團隊和檢測設備可保證直線導軌的性能穩定發揮